微粒过滤和控制AMC在晶圆设备的生产过程中是必须的,这也是追求高收益、低退货率的半导体产业首当其冲需要解决的问题。洁净室最突出的问题是产品、工具、加工过程中气味控制的污染。传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今FLMFIL FFU 使用自带风机的过滤装置,解决了繁琐的安装问题,性价比很高,是目前市场上最安静、价格优良的一种机组,为洁净室输送高质量的循环空气。

此外,空气中的分子污染物会随着温度和湿度的相对作用而增加,从而加速产品的表面氧化和腐蚀。FLMFIL的初效及中效过滤器可以有效地除去液体和空气中的固体颗粒,保护设备的正常工作和空气的洁净。 


 

污染物


来源

引发问题

解决方案

 

粉尘,酸性、碱性气体


空气

集成电路断路、短路

化学过滤器+高效过滤器/FFU

 

NH3


空气

光学镜片雾化

化学过滤器+FFU

 

NH3NMP


外气

“T-top“现象

化学过滤器

 

丙酮、异丙醇等有机溶剂废气

 

清洗、刻蚀工序

环境污染

高效空气过滤器

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